TY  - GEN
AU  - Mäkilä,Ermei
AU  - Anton Willmore,Anne-Mari
AU  - Yu,Haibo
AU  - Irri,Marianna
AU  - Aindow,Mark
AU  - Teesalu,Tambet
AU  - Canham,Leigh T
AU  - Kolasinski,Kurt W
AU  - Salonen,Jarno
TI  - Hierarchical Nanostructuring of Porous Silicon with Electrochemical and Regenerative Electroless Etching
SN  - 1936-086X
PY  - 2019///
PB  - ACS nano
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1021/acsnano.9b05740
ER  -