TY  - GEN
AU  - Hiraki,Tatsurou
AU  - Aihara,Takuma
AU  - Takeda,Koji
AU  - Fujii,Takuro
AU  - Kakitsuka,Takaaki
AU  - Tsuchizawa,Tai
AU  - Fukuda,Hiroshi
AU  - Matsuo,Shinji
TI  - Membrane InGaAsP Mach-Zehnder modulator with SiN:D waveguides on Si platform
SN  - 1094-4087
PY  - 2019///
PB  - Optics express
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/OE.27.018612
ER  -