TY  - GEN
AU  - Debnath,Kapil
AU  - Clementi,Marco
AU  - Bucio,Thalía Domínguez
AU  - Khokhar,Ali Z
AU  - Sotto,Moïse
AU  - Grabska,Katarzyna M
AU  - Bajoni,Daniele
AU  - Galli,Matteo
AU  - Saito,Shinichi
AU  - Gardes,Fredric Y
TI  - Ultrahigh-Q photonic crystal cavities in silicon rich nitride
SN  - 1094-4087
PY  - 2018///0207
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/OE.25.027334
ER  -