TY - GEN AU - Zeng,Bi Jian AU - Huang,Jun Zhu AU - Ni,Ri Wen AU - Yu,Nian Nian AU - Wei,Wei AU - Hu,Yang Zhi AU - Li,Zhen AU - Miao,Xiang Shui TI - Metallic resist for phase-change lithography SN - 2045-2322 PY - 2015///0403 N1 - Publication Type: Journal Article; Research Support, Non-U.S. Gov't UR - https://doi.org/10.1038/srep05300 ER -