TY  - GEN
AU  - Körstgens,V
AU  - Meier,R
AU  - Ruderer,M A
AU  - Guo,S
AU  - Chiang,H-Y
AU  - Perlich,J
AU  - Roth,S V
AU  - Gehrke,R
AU  - Müller-Buschbaum,P
TI  - Note: grazing incidence small and wide angle x-ray scattering combined with imaging ellipsometry
SN  - 1089-7623
PY  - 2012///1113
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1063/1.4738880
ER  -