TY  - GEN
AU  - Kleineberg,U
AU  - Osterried,K
AU  - Stock,H J
AU  - Menke,D
AU  - Schmiedeskamp,B
AU  - Fuchs,D
AU  - Müller,P
AU  - Scholze,F
AU  - Heidemann,K F
AU  - Nelles,B
AU  - Heinzmann,U
TI  - Mo/Si multilayer-coated ruled blazed gratings for the soft-x-ray region
SN  - 1559-128X
PY  - 2012///1002
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/AO.34.006506
ER  -