TY  - GEN
AU  - Lynn,Alan G
AU  - Gilmore,Mark
AU  - Watts,Christopher
AU  - Herrea,Janis
AU  - Kelly,Ralph
AU  - Will,Steve
AU  - Xie,Shuangwei
AU  - Yan,Lincan
AU  - Zhang,Yue
TI  - The HelCat dual-source plasma device
SN  - 1089-7623
PY  - 2010///0222
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1063/1.3233938
ER  -