TY  - GEN
AU  - Montcalm,C
AU  - Sullivan,B T
AU  - Duguay,S
AU  - Ranger,M
AU  - Steffens,W
AU  - Pépin,H
AU  - Chaker,M
TI  - In situ reflectance measurements of soft-x-ray/extreme-ultraviolet Mo/Y multilayer mirrors
SN  - 0146-9592
PY  - 2012///1002
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/ol.20.001450
ER  -