TY - GEN AU - Baunemann,Arne AU - Bekermann,Daniela AU - Thiede,Tobias B AU - Parala,Harish AU - Winter,Manuela AU - Gemel,Christian AU - Fischer,Roland A TI - Mixed amido/imido/guanidinato complexes of niobium: potential precursors for MOCVD of niobium nitride thin films SN - 1477-9226 PY - 2008///1014 N1 - Publication Type: Journal Article UR - https://doi.org/10.1039/b719688a ER -