TY  - GEN
AU  - Nagata,S
AU  - Tsuneta,S
AU  - Sakao,T
AU  - Yoshida,T
AU  - Hara,H
AU  - Kano,R
AU  - Ishiyama,W
AU  - Murakami,K
AU  - Ohtan,M
TI  - High-wavelength-resolution extreme-ultraviolet multilayer mirror
SN  - 1559-128X
PY  - 2012///1002
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/ao.36.002830
ER  -