TY  - GEN
AU  - Mogensen,K B
AU  - Friis,P
AU  - Hübner,J
AU  - Petersen,N
AU  - Jørgensen,A M
AU  - Telleman,P
AU  - Kutter,J P
TI  - Ultraviolet transparent silicon oxynitride waveguides for biochemical microsystems
SN  - 0146-9592
PY  - 2012///1002
N1  - Publication Type: Journal Article
UR  - https://doi.org/10.1364/ol.26.000716
ER  -